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我國靶材行業急需突破人才和技術瓶頸

來源: 發布時間:2019-04-23           

  我國靶材行業急需突破人才和技術瓶頸

  集成電路制造工藝的不斷前行,使得無論在微觀品質,還是宏觀規格上,對靶材的質量都提出了越來越高的要求。集成電路制造工藝的微細化、濺射用薄膜材料的多元化,要求靶材除了純度高、成分均勻等之外,還主要體現在靶材的致密度、晶粒尺寸、織構、電導率和結合強度等方面的嚴格要求;同時,隨著晶圓尺寸的逐漸增加,要求靶材尺寸也隨之增大,在大尺寸材料的組織性能均勻性控制、高精度成型加工等方面提出挑戰;此外,為了進一步提高靶材的使用性能,還需要對靶材的結構進行優化設計。這無疑對國內靶材企業提出了新的更高的挑戰。

  雖然近年來我國集成電路、平板顯示、太陽能電池等產業的快速發展,讓我國已逐漸成為世界上薄膜靶材最大的需求地區之一,但不可否認的是,超高純濺射靶材仍需從國外進口。

  由于國內超高純濺射靶材產業起步較晚,且受到技術、資金和人才的限制,國內專業從事超高純濺射靶材的生產企業數量偏少,企業規模和技術水平參差不齊,多數國內企業處于企業規模較小、技術水平偏低、產業布局分散的狀態,市場尚處于開拓初期,主要集中在低端產品領域競爭。他指出,面對激烈的國際競爭,濺射靶材產業專業人才的匱乏成為制約國內靶材產業發展的痛點。“靶材的研制主要是在企業內實施,各靶材公司為在競爭中取得優勢,技術均高度保密,所以該行業專業化很強,人才選擇局限于為數不多的靶材公司內部。高校及科研院所開展濺射靶材基礎研究及應用研究較少,時間也較短,研究力度也沒有靶材公司大,因此培養的人才,無論是在數量上還是水平上都略顯不足。”姚力軍說。他同時指出,隨著全球制造中心向中國轉移,國外靶材供應商考慮到價格和交貨期的因素,希望實現本土化供應,于是,紛紛在中國建立加工廠,這無疑使得國內靶材業面臨的競爭更加激烈。“此外,我國超高純濺射靶材原材料制備尚需實現重大突破,原材料品質一致性、關鍵技術等問題也亟待解決。”姚力軍告訴記者。

  以鉭靶材為例剖析行業普遍存在的問題,國外同行形成的技術及產業鏈壁壘,給鉭靶材本土化造成技術障礙與陷阱,無法形成反饋機制。同時,國外同行的鉭靶材產品技術成熟穩定,具有成本優勢,而鉭靶材在國內處于初始階段,生產成本高,不具備進入市場的成本優勢。

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